SSD光照射除電裝置 ISX-224

SSD光照射除電裝置 ISX-224 產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 對(duì)于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,於1S以?xún)?nèi)的短時(shí)間內(nèi)除電。
• 與瓦斯的流動(dòng)狀態(tài)無(wú)關(guān),可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內(nèi)廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對(duì)象物附近存在不穩(wěn)定的氣流,也不影響除電性能。
• 平常完全不須維護(hù),僅需依軟X線(xiàn)管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
• 由于正負(fù)離子及電子平均分布于空間內(nèi),因此除電對(duì)象物的殘留電位可定為0V。
• 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
• 由于是光照射之離子系統(tǒng),因此,完全不發(fā)塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無(wú)發(fā)生。
• 依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒(méi)有產(chǎn)生臭氧(ozone)。
• 構(gòu)成本系統(tǒng)的機(jī)器,僅有軟X線(xiàn)管頭及電力裝置2項(xiàng),在制造裝置.搬運(yùn)上易安裝。

SSD光照射除電裝置 ISX-224產(chǎn)品規(guī)格：

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